[메가경제=박제성 기자] 에코프로에이치엔이 삼성E&A에 330억원 규모의 반도체 공정용 온실가스 저감 시스템을 공급한다. 대형 반도체 생산시설의 환경 규제가 강화되는 가운데, 에너지 사용량을 크게 줄인 촉매 기술을 앞세워 국내외 시장 확대에 나선다.

 

회사는 삼성E&A와 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS) 공급 계약을 체결했다고 27일 밝혔다. 설비는 국내 반도체 기업의 생산시설에 적용될 예정이다.

 

▲[사진=에코프로]

 

RCS는 반도체 제조 과정에서 배출되는 과불화화합물(PFCs)을 대용량으로 처리하는 장비다. PFCs는 이산화탄소보다 지구온난화지수가 수천~수만 배 높아 반도체 업계의 핵심 감축 대상으로 꼽힌다.

 

에코프로에이치엔의 RCS는 촉매 기술을 활용해 기존 열분해 방식보다 낮은 온도에서 온실가스를 분해한다. 기존 설비가 1300~1400℃의 초고온 공정을 필요로 하는 것과 달리 약 750~800℃에서 운전할 수 있어 회사 측은 에너지 사용량을 약 95% 줄일 수 있다고 설명했다.

 

이번 수주로 회사는 국내 반도체 시장에서 설비 신뢰성과 사업 연속성을 다시 확보하게 됐다. 향후 반도체 메가 프로젝트와 첨단산업단지 조성 확대에 따라 추가 수주 기회도 늘어날 것으로 기대하고 있다.

 

회사는 국내 반도체 기업의 해외 생산기지 투자에 대응하는 동시에 북미 등 글로벌 반도체 업체로 고객 기반을 확대할 계획이다.

 

에코프로에이치엔 관계자는 “이번 계약은 온실가스 저감 기술과 설비 경쟁력을 재확인받은 결과”라며 “국내외 반도체 시장으로 고객사를 다변화하겠다”고 말했다.

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